CN200310113523-物理气相传输生长碳化硅单晶的方法及其装置

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物理气相传输生长碳化硅单晶的
方法及其装置
申请号：200310113523.9
申请日：2003-11-14
申请(专利权)人中国科学院物理研究所
地址100080北京市海淀区中关村南三街8号
发明(设计)人陈小龙吴星 倪代秦 李河清 胡伯清
主分类号C30B23/00
分类号C30B23/00 C30B29/36
公开(公告)号1544715
公开(公告)日2004-11-10
专利代理机构北京中创阳光知识产权代理有限责任公司
代理人尹振启


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2016-7-13 17:08 上传

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