【成员风采】米格实验室—国网联研院加工测试

1.1  联研院简介

全球能源互联网研究院有限公司（以下简称：联研院）前身为国网智能电网研究院，重点围绕特高压、智能电网、清洁能源领域开展基础性、前瞻性、战略性技术研究和信息安全支撑。联研院构建了涵盖“高性能电工材料、大功率电力电子器件、先进输电装备、新型储能与能源转化、信息通信及安全、先进计算及大数据”6大创新链的基础与共性技术创新体系。

1.2 米格平台简介

米格实验室是基于互联⽹网+，⾯向实体企业和科研院所的、⾯向材料料和半导体领域的，研发、检测与技术解决⽅方案服务平台 ，致⼒于推动共享实验室的国家⾼高新技术企业，目前合作实验室350家，包括中科院半导体所、中科院物理所、 中科院微电子所、北京有⾊院、中国航发、清华、北大、中电58所及子公司、航天9院、中船725所、 工信部CSIP、海军701研究所、国家电⽹等；

1.3 国网联研院—米格共享实验室

米格实验室与全球能源互联网研究院“联研院”合作落地，将作为国家电网系统的共享实验室平台窗口，服务国网及国网供应商体系。

整合以联研院为中心及其相关国家电网系统内的实验室资源、专家人才及技术服务资源。

作为国网联研院指定的专业化运营机构

 国网联研院-米格共享实验室平台

1.4 国网—米格联研院共享实验室项目

单项检测加工      整体解决方案

2.1电工新材料检测

循环腐蚀

绝缘材料环境试验箱

可进行广泛的加速腐蚀测试：

• CCT1&IV  

• ASTM G85  

• GM9540P  

• SAE J 2334 

• GM4298  

• ASTM B117  

• GM 4465 

• 绝缘电阻  

• 介电损耗  

• ……

2.2 电磁兼容EMC

• 电压：0.2kV-3.0kV，

• 重复频率：1-500Hz，可调， 

• 振荡频率：100kHz，1MHz±10%

浪涌 

• 浪涌：± 200V-6.6kV，±100A-3.3kA；

• 脉冲群：±200V-4.8kV，100Hz–1000 kHz

静电 

• 空气放电和接触放电 

• 200V-30kV

冲击 

• 500-12000V

2.3 功率器件/Si(SiC)加工

高温离子注入机 

• 注入温度范围：RT~500℃ 

• 注入晶圆大小：4英寸、6英寸

• 注入元素：铝  氩  磷  氮  硼 

• 注入能量：10keV~960keV

• 倾斜角度（tilt）：0～60度 

• 旋转角度（twist）：45度～135度

碳化硅高温退火炉 

• 加工晶圆大小：4英寸、6英寸 

• 每炉可装片数量50片 

• 退火温度：最高1950℃

碳膜炉管 

• 加工晶圆尺寸：4寸、6寸 

• 用于碳化硅注入激活的碳膜表面保护

2.4 功率器件/模块测试

功率循环 

• 功率循环 IEC60749-34 

• 单芯片与焊接器件  Vmax=28V  Imax=1500A

•压接模块 Vmax=20V  Imax=3000A，can extend to 6000A

IGBT劢静态参数测试系统 

• 单芯片与焊接器件

  IGBT芯片：  3300V∽6500V/50∽62.5A

  FRD芯片：  3300V∽6500V/100∽125A

  焊接器件：  3300V/50∽1500A

• 压接模块

  压接IGBT模块  3300V ∽ 4500V    1000 ∽ 3000A

高温反偏测试台 

• 高温工作寿命 IEC60749-23 

• V<600V, T<200℃