团体标准《6~8 英寸碳化硅单晶抛光片》正式发布

2024年1月12日，中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟正式发布团体标准《6~8 英寸碳化硅单晶抛光片》。

随着碳化硅单晶生长和加工技术的进步，6英寸碳化硅单晶抛光片的生长质量和加工质量也得到进一步提升。另外国内8英寸（200.0mm）碳化硅单晶抛光片已经面世，填补了我国在8英寸方面的空白。因此本标准在T/IAWBS 005-2018《6英寸碳化硅单晶抛光片》标准的基础上，对6英寸碳化硅单晶抛光片几何参数、电阻率、微管密度等相关技术指标做了适当提高，另外增加了8英寸碳化硅单晶抛光片的指标要求，来满足不同用途的产品质量标准。

该标准规定了6~8英寸4H碳化硅单晶抛光片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容，适用于生产电力电子器件、射频微波器件的外延材料用碳化硅单晶抛光片。此标准为国内碳化硅单晶抛光片企业规范生产提供借鉴参考。