中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟第三批团体标准初审稿评审会顺利召开

2019年6月27日，中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟（以下简称“宽禁带联盟”）第三批团体标准初审稿评审会于北京海淀区气象路9号中国钢研科技集团南院新材料大楼一层东会议室顺利召开。此次评审会旨在对《导电碳化硅单晶片电阻率测试方法》等6项团体标准初审稿进行评审。

评审会现场

本次会议分为上下两场，由宽禁带联盟秘书长陆敏博士主持。中国科学院半导体研究所孙国胜研究员、中国电子科技集团第四十六研究所首席专家林健研究员、北京大学王金延教授、北京邮电大学唐为华教授、北京航空航天大学苏飞教授、中国电子科技集团第四十六研究所质量标准与安全处处长郑风振、中国科学院电工研究所张瑾高级工程师、中国科学院微电子研究所许恒宇博士、全球能源互联网研究院有限公司研究室主任李金元教授级高工、清华大学高级工程师刘志弘博士、中科钢研节能科技有限公司副总经理赵然、中科钢研节能科技有限公司新材料事业部副总经理赵子强、中科钢研节能科技有限公司总工程师李龙远、丹东新东方晶体仪器有限公司总经理赵松彬、北京镓族科技有限公司技术主管李培刚、中国电子技术标准化研究院工程师闫美存、米格实验室总经理闫方亮博士、北京天科合达半导体股份有限公司质管部经理佘宗静、中国电子科技集团公司第二研究所工程师侯晓蕊、中科钢研节能科技有限公司工程师刘素娟、中国电子科技集团公司第四十六研究所工程师高飞、李晖、宽禁带联盟副秘书长郑红军等宽禁带联盟标准化委员会委员及此次团体标准申报单位代表参加了本次会议。

首先由陆秘书长介绍与会专家，赵然副总经理致欢迎词，紧接着各牵头起草单位代表分别对团体标准初审稿的主要内容进行了详细介绍及说明，与会专家针对初审稿的关键内容进行了深度的协商与讨论，在引用文件、术语定义、技术指标和标准格式等方面都提出了很多宝贵的修改意见，最后与会专家一致同意以下6项团体标准初审稿通过初审评定：

（1）《碳化硅单晶抛光片表面质量自动检测方法》（牵头单位：北京天科合达半导体股份有限公司）

（2）《碳化硅单晶片表面质量和微管密度的测试方法》（牵头单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所）

（3）《半绝缘SiC电阻率非接触测量方法》（牵头单位：中国电子科技集团公司第二研究所）

（4）《半导体单晶残余应力检测方法》（牵头单位：北京聚睿众邦科技有限公司）

（5）《导电碳化硅单晶片电阻率测试方法》（牵头单位：中科钢研节能科技有限公司）

（6）《功率半导体器件稳态湿热高压偏置测试方法》（牵头单位：中国科学院电工研究所）

赵然副总经理致欢迎词

标委会委员讨论与评审

针对本次讨论会的建议，各起草单位表示将进一步修改和完善标准内容，尽快形成征求意见稿，按照标准制定工作计划进度要求，有条不紊地推动标准工作，以制订出高质量的碳化硅产业团体标准。目前宽禁带联盟已发布了团体标准7项，在研标准8项。团体标准在国家重大战略部署中，是政府提升综合治理能力和水平的重要工具，是企业获得竞争能力和引领发展的重要条件。宽禁带联盟今后将会继续做好团体标准工作，使团体标准服务于宽禁带半导体产业的技术创新需求，为推进团体标准事业做出应有的贡献。

第三批团体标准立评审会专家合影