湖南云思半导体科技有限公司是一家专业主要从事半导体涂层产品研发、生产、销售和服务的公司，致力于为第三代半导体、硅基半导体及LED等行业提供强有力的技术与产品支持，解决国内需求严重依赖进口的问题。

公司位于长沙市雨花区，建设有先进的石墨加工线、CVD涂层生产线以及检测中心，配套了无尘车间（千级）以及半导体级制程系统，能够保证产品质量批量一致性以及产量的稳定，满足半导体及LED行业严苛的产品性能要求。

产品介绍

一、第三代半导体涂层石墨产品

TaC涂层石墨件，包括长晶圆环、导流环等，用于SiC长晶工序。

SiC涂层石墨件及TaC涂层石墨件，包括晶圆载盘、遮挡环、托盘基座；G4行星盘、G4公转大盘和G5+子盘等，用于SiC外延及GaN外延工序。

二、硅基半导体SiC涂层石墨产品

SiC涂层石墨产品，用于单晶硅的长晶工序。

SiC涂层石墨基座，用于硅基集成电路制造过程中的外延工序。

产品特点

一、SiC涂层

碳化硅（SiC） 具有耐磨 、耐高温烧蚀、抗氧化性等优异的物理化学性能，广泛应用在航空航天、电子产品、单晶生长等领域。

云思采用化学气相沉积技术（CVD)， 将高纯硅源、 碳源等反应气体通入CVD沉积设备腔体内，设定特殊的工艺条件，经过一系列化学反应，在石墨产品表面均匀生长高纯度碳化硅涂层。

二、TaC涂层

碳化钽（TaC） 是新一代耐高温材料，其熔点高达3880℃ , 可在高温条件下保持良好的机械性能和化学稳定性 。TaC和石墨、SiC有着良好的化学相容性，被认为是半导体等领域理想的涂层材料。

云思生产的TaC涂层具有高致密、高纯和厚度均匀等优点， 不仅能显著降低杂质元素污染，提高晶体品质，而且能延长组件的使用寿命 ，从而降低生产成本。

技术优势

1. 强大的涂层设计能力，可针对各种严苛工况独立设计涂层晶型满足客户要求。
2. 仿真模拟：温场和流场仿真，为优化石墨件结构和细节尺寸提供指导方向。
3. 通过优化结构设计，定制化设计产品，配合客户解决产品应用过程中的工艺问题。
4. 通过对CVD设备流场、温场及压力场模拟分析及优化，确保涂层产品的均匀一致及稳定。

湖南云思半导体科技有限公司

联系人：何岸

邮箱：han@yunsemi.cn

电话：186 7309 0782

公司地址：湖南省长沙市雨花区同升街道振华路858号智庭园6栋