联盛半导体科技(无锡)有限公司成立于2023年5月，是山东联盛电子设备有限公司的全资子公司，工厂地址位于江苏省无锡市锡山科创园，公司致力于半导体高端湿制程设备研发、生产与销售。

山东联盛电子设备有限公司目前已申请国家专利30多项，其中发明专利9项，并获得国家高新技术企业，省级专精特新企业荣誉称号，公司于2016年申请并通过ISO9001质量体系认证，半导体专业认证。并于2020年、2022年分别和山东大学微电子学院，青岛大学电子信息工程学院建立产学研合作，同时总经理马玉水被青岛大学聘为创新创业导师。

我们产品服务的领域包括硅材料、化合物半导体材料、陶瓷、玻璃等，主要设备有:全自动RCA清洗机、全自动镀镍镀金清洗机、全自动最终清洗机、全自动腐蚀减薄清洗机、全自动去边清洗机、全自动沟槽蚀刻机、全自动二氧化硅蚀刻机、炉管清洗机、CVD前清洗机、CDS(SDS)系统、B Clean、Oxide Remove、Nitride Remove、PR Strip、Lift Off、Particle Remove、Solvent Clean、Metal Etch、M2 Clean.

产品介绍

一、全自动腐蚀机

1. 晶圆浸泡式腐蚀清洗，特制转笼晶圆自动旋转和提拉。
2. 工艺结果具备高度的均匀一致性，确保腐蚀效果。
3. 氮气鼓泡功能，运行中氮气管路可在酸槽内平行均匀移动，鼓泡速率可调节。
4. 化学药液多级精细过滤，循环利用并自动补液。
5. 具有MES系统的信息交互通讯能力。
6. 化学药液具备InLine加热冷却恒温功能。
7. 提供标准的制程解决方案。
8. 腐蚀精度:平整度增量TTV≤1.5μm
9. 加工能力:晶片直径4英寸至12英寸，每次数量75片/6英寸，50片/8英寸/12英寸。
10. 清洗机通过硬件、软件配置来较大限度的保护硅片，在异常状况下设备出现Down机。
11. 专利号:202311724028，2020208029174，202020802916X，2020208029051，2020208029051。

二、单片清洗机

1、用于硅、碳化硅、氮化镓等半导体材料的单片腐蚀、清洗、刷洗工艺。

2、机台可实现多尺寸兼容(4&6英寸;6&8英寸;8&12英寸)。

3、工艺腔体经过优化设计，高性能FFU,配合可调节高度的CUP,形成一个稳定强度的downflow，严格控制wafer 表面工艺区域的动态环境。

4、可以实现药液(酸/碱/有机)的排废分离，无药液的交叉污染。

5、可适用衬底及外延清洗、PR strip、Oxide removal等工艺。

6、支持 GEM/SECS协议，支持MES系统联机。

三、全自动磨片后清洗机

1、机台采用进口板材，可长期工作在酸腐蚀环境，坚固耐用，双层防漏。

2、采用KOH+界面、混酸、SC1对芯片表面有机和无机物的有效处理工艺设备，可清洗6"、8"硅片。

3、可设计手动、全自动运行，全自动运行方式采用多只机械手作业，更有效提高效率降低成本。

4、清洗能力:6~8英寸圆片，25片2篮/批。

5、各工艺槽模组化设计，腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在一个统一的承漏底盘中，腐蚀槽设计底部排风，降低排风量。

6、控制部分采用进口品牌PLC和HMI，可带MES系统。

7、设备设计标准按半导体行业标准执行，ISO9001质量管理体系进行规范和保证。

联盛半导体科技(无锡)有限公司

无锡工厂：江苏省无锡市锡山区芙蓉中三路90号青云三座1楼

生产基地：山东省高唐县超越路创业示范园C栋

咨询电话：13671788984/13869598805/18663593909

邮 箱：lsee@zglsee.com

公司网址：www.zglsee.com