中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟关于同意《氧化镓单晶位错密度的测试方法》等5项 ...

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟第八批团体标准立项评审会于2024年7月4日通过腾讯会议的形式召开，经联盟标准化委员会与会委员表决，本次5项团体标准通过评审并获准立项：

（1）《氧化镓单晶位错密度的测试方法》（牵头单位：北京镓创科技有限公司）

（2）《碳化硅用包材中金属杂质含量的测定  电感耦合等离子体质谱法》（牵头单位：山西烁科晶体有限公司）

（3）《碳化硅粉体》（牵头单位：山西烁科晶体有限公司）

（4）《碳化硅单晶抛光片边缘缺陷的自动化检测方法  反射和透射偏振法》（牵头单位：北京天科合达半导体股份有限公司）

（5）《碳化硅单晶抛光片包裹物的自动化检测方法  暗场成像法》（牵头单位：北京天科合达半导体股份有限公司）

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟

                                              2024年7月11日

标2024-8号-第八批团标立项评审会会议决议.pdf