北方工业大学作为北方微电子产业基地和北京市教委命名的“北方微电子人才培养基地”，是北京地区为数不多的开设微电子专业的高校，也是集成电路专业方向开设最全的高校，涵盖了集成电路设计、集成电路测试、电子封装、芯片制造等主要方向，同时是全国高校微电子专业中唯一具有集成电路测试方向完备课程体系的高校，具有与产业界接轨的实践教学资源，紧密对接企业需求。与北京大学、北京理工大学、中科院、京东方等知名高校企业合作，建立了与企业及科研院所的产学研协同育人机制，搭建学生成长成才平台。建立“实培项目（科教融合）-校内/国内竞赛-企业实习基地建设（产教融合）”贯通的创新实践模式，促进学生创新实践能力培养。通过实现教育链、人才链与产业链、创新链的有机衔接，培养高素质应用型专业人才，推动中小企业创新发展和区域经济产业升级。北方工业大学微电子专业拥有完整的4英寸工艺平台和先进的测试平台。

集成电路工艺与测试平台具备近全套4英寸工艺线：suss曝光机、ICP/RIE/IBE刻蚀机、PEALD原子层沉积/PVD磁控溅射/电子束蒸发台/旋涂仪/RTP-600快速退火等薄膜制备设备等；中间测试设备：Bruker布鲁克台阶仪、Summit200 8英寸高低温半自动探针台、Summit12000 8英寸半自动探针台、CASCAD 8英寸手动探针台、B1500A、B1505A、Keithley 4200-SCS、FTIR、PL、SEM、XRD、AFM、孔径仪（膜厚、孔隙率）等测试设备。

此外，北方工业大学微电子专业拥有一个校企协同就业创业创新示范实践基地，该基地由国家工业信息安全发展中心组织开展，通过实现教育链、人才链与产业链、创新链的有机衔接，培养高素质应用型专业人才。北方工业大学基地聚焦于”芯片封测智能制造产线”方向，依托学校优秀的师资队伍和深厚的学术资源，着力建成以人才培养、科学研究、社会服务功能为一体的、具有行业示范引领效应的校企协同就业创业创新示范实践基地，达成就业创业创新的实践目标。

芯片封测校企协同就业创业创新示范实验基地具备以下实验条件：1.封装设备：Tegramin-25自动磨抛机、纯水处理系统、二氧化碳发泡机、贴膜机、划片机、挑粒机、晶圆清洗机、装片机、点胶机、超声金丝球焊机、压焊机等。2.测试设备：集成电路高温动态老化系统（老化箱）、高低温箱、常温处理机、高低温处理机、老化炉、插拔机等。

北方工业大学微电子专业承担国家重大专项《SiC电力电子器件集成制造技术研发及产业化》子课题，基于碳化硅MOS器件的关键核心工艺，围绕如何降低界面陷阱密度、提升器件可靠性等问题，开发了高温氧化工艺及NO退火工艺；针对影响MOS器件开启电阻的欧姆接触问题，优化了Ti/Al欧姆接触工艺。此外，针对碳化硅/二氧化硅近界面陷阱密度无法准确评估的难题，建立了等效物理模型，对积累区的电容、电导的频率依赖性进行分析，发现近界面陷阱呈指数衰减分布，为碳化硅栅氧近界面陷阱的物理起源阐明和工艺优化提供了理论方法和数据支持，也为其他宽禁带半导体领域近界面陷阱的研究及钝化提供了重要理论模型。

同时，在第四代半导体金刚石领域，研发了新型OH终端金刚石MOS电容，并对栅氧界面进行了系统电学分析和改善，首次获得了界面缺陷的物理性质，包括捕获截面积、时间常数、及缺陷类型（属于施主型缺陷），为界面缺陷物理起源的确立、界面改善及器件性能提升提供了重要线索。此外，采用Si基异质外延所制备的金刚石衬底，结合OH终端金刚石形成技术、p型和n型掺杂技术，成功研发出异质外延金刚石基p沟道反型结构增强型MOSFET，有力促进了金刚石器件产业化。

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