上海优睿谱半导体设备有限公司（简称：优睿谱）成立于2021年，致力于打造高品质的半导体前道量测设备。

优睿谱的主要产品包括：

• 面向硅基晶圆的量测设备，如半导体专用傅里叶变换红外光谱元素与外延膜厚测量设备、晶圆键合及晶圆内生缺陷检测设备；
• 面向宽禁带半导体碳化硅基晶圆的量测设备，如碳化硅专用傅里叶变换红外光谱外延膜厚测量设备、晶圆平整度量测设备、晶圆位错及微管检测设备、晶圆边缘及表面外观缺陷检测设备、晶圆电阻率量测设备等。

广泛应用于半导体前道量测领域，为半导体制造与科研等领域提供解决方案。

公司拥有多个基地，分别位于上海张江高科技园、上海金桥上海自贸试验区、无锡太湖国际科技园。

优睿谱坚持实事求是、笃行致远的信念，秉承着务实高效的精神，致力于打造高品质的半导体前道量测设备，同时在深厚的技术积累基础上实现技术创新，助力中国半导体前道量测设备自主可控。

联系方式

上海优睿谱半导体设备有限公司

公司邮箱：service@avantsemi.com.cn

服务热线:15895446509

公司网站:www.avantsemi.com.cn

公司地址:上海市浦东新区盛夏路570号1幢402室