微电子所孵化企业“中科飞测”成功登陆科创板上市

5月19日，由中国科学院微电子研究所于2014年孵化的高端半导体质量控制设备公司——深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称“中科飞测”，股票代码“688361”）在上海证券交易所科创板挂牌上市。中科飞测是微电子所科技成果转化的第三家上市公司。

自成立以来，中科飞测始终坚持自主研发和自主创新的原则，依托多年在光学检测技术、大数据检测算法和自动化控制软件等领域的深耕积累和自主创新，实现多款高端半导体质量控制设备量产，产品主要包括：无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列、薄膜膜厚量测设备系列等产品，已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线，打破在半导体质量控制设备领域国际设备厂商对国内市场的长期垄断局面。与此同时，中科飞测积极承担了多个国家省部级重大科研项目，助力国内集成电路产业领域关键技术攻关与突破。

本次首次发行A股并上市，标志着中科飞测的发展迎来了新的起点。下一步，中科飞测将继续坚持自主研发和创新，以高端半导体质量控制设备为目标，推动我国检测和量测设备国产化发展，为我国集成电路产业发展做出新的更大贡献。