ASM 收购LPE，SiC外延江湖中的隐形王者

7月18日消息，ASM International N.V.（ASM）今天宣布达成一项协议，根据该协议，ASM 将收购位于意大利的碳化硅 (SiC) 和硅外延设备制造商 LPE S.p.A. 的所有流通股。

在电动汽车市场迅速扩大的推动下，碳化硅器件正经历强劲增长。全球汽车行业正在大力投资由碳化硅制成的芯片。由于其宽带隙，SiC 在高压下非常高效，可提供更高的功率效率、更高的功率密度，从而减少组件的重量和尺寸，以及更快的电池充电时间。因此，预计从 2021 年到 2025 年，对SiC 外延设备的需求（基于 ASM 内部估计）将以超过25% 的复合年增长率增长。

* 碳化硅功率器件市场

对更高效的 SiC 功率器件的需求预计将导致 2021 年至 2027 年的复合年增长率约为 34%

汽车（电动汽车）增长最大的领域

* 仅针对 EV 的 SiC 外延晶圆需求

SiC 器件在电动汽车 (EV) 中提供更长的续航里程和电池寿命

预计 SiC 外延晶圆（150 毫米和 200 毫米）将增长约 3 倍以满足需求

* SiC外延设备增长

需要高良率和高性能的 SiC 外延设备

预计 SiC 外延设备增长 25%

▍协议信息汇总如下：

ASM达成收购LPE的协议，在电动汽车增长的推动下，进军高增长的碳化硅外延设备业务。

ASM公司将以现金和股票相结合的方式为该交易提供资金。在交易结束时，收购价将以2.8325亿欧元的现金和631,154股ASM股票来支付。在签署之日，按现金和无债务计算，该款项代表了4.25亿欧元的企业价值。

在交易结束后的两年时间里，将根据某些业绩指标，以收益方式支付高达1亿欧元的额外款项。

这些股份将是库存股（580,000 股）和少量新发行的ASM股份（51,154股）的组合。收益仅以现金支付。现金金额将来自 ASM 的净现金余额。

交易完成后，LPE 将作为 ASM 全球产品组织下的一个产品部门运营。LPE 将继续以意大利为基地，在米兰和卡塔尼亚设有技术和制造中心。LPE 是盈利的，预计将在收盘后立即为净收益做出贡献。

该交易需要在少数的国家获得 FDI 和反垄断批准，以及预计在 2022 年 11 月 10 日的最后期限之前满足的其他惯例成交条件。如果不能在此日期前完成，双方将在六个月的时间内进行真诚的讨论，目的是仍然完成交易。

CVD设备及工艺，碳化硅外延环节的主要壁垒

外延工艺是整个碳化硅产业中的非常关键的一环，由于现在所有的器件基本上都是在外延上实现，所以外延的质量对器件的性能是影响非常大，同时外延的质量又受到晶体和衬底加工的影响，所以外延环节在碳化硅产业链中承上启下，对产业发展起到非常关键的作用。

化学气相淀积CVD法是目前全球制造先进外延结构的主流方法。主要是反应器中的压力通过气体产生，低压化学气相淀积LPCVD，压力为10~1000mbar，低压可以减小气相成核，SiC一般使用较为广泛。

在腔体内，气流由质量流控制器精确控制，衬底置于旋转加热的石墨托盘上，来自气相的分子束扩散到衬底的表面，在衬底表面分解，并由衬底表面吸收和反应后形成外延层。CVD法提供了能够重复生长几个单原子层厚度，同时生长厚外延层时能够对生长速率精确控制，这种方法的产量非常高。

与衬底不同的是，SiC外延技术成熟度相对较高，该环节的很多壁垒来自于设备及对设备的控制工艺，目前市场上主要有四家CVD设备企且市场高度垄断：

1、德国的Aixtron：多片机（一个托盘8片左右）产能较大；缺点是控制难度较高，容易发生一片出现问题，8片全毁的情况。以及该设备价格高昂，目前国内天域、瀚天等有少量机台。

2、意大利的LPE：单片机，生长速率非常大，操作简单，价格相较其他机台较低（千万左右 ）。缺点是需要经常降温清理腔体，影响外延总体产能。LPE是国内目前数量最多的碳化硅外延片CVD设备，机台结构也是国内外延工程师最为熟悉的。

3、日本的TEL和Nuflare：设备的价格非常昂贵，其次是双腔体，对提高产量有一定的作用。其中，Nuflare是垂直机台，高速旋转可达到一分钟1000转，保证均匀性控制较好的同时可以避免一些颗粒物的产生，缺陷较低。

目前TEL因价格和技术IP问题，较少出现在国内市场。Nuflare设备产能受限，多数交付给Wolfspeed，国内存量也较少，只有少数头部企业拥有该机台。

关于LPE：

LPE成立于1972年，研发、制造总部位于意大利米兰，并在意大利卡塔尼亚拥有一个工艺研发中心。LPE在中国上海设有销售和支持办事处，并拥有全球销售伙伴网络。

业务上，LPE预计2023财年收入将超过1亿欧元，主要由SiC外延设备业务驱动。LPE在6英寸碳化硅外延炉市场拥有非常庞大安装基础，意法半导体、瀚天、天域等国内外产业链龙头企业均为LPE的服务对象。

除此之外，在8英寸外延炉产品上，LPE已经拥有多个已经在试验阶段的客户。

值得一提的是，LPE在2020年曾被中国企业提出收购：2020年12月21日，深圳创疆投资控股有限公司签约收购了意大利碳化硅设备公司LPE S.p.A.的70%股权。但2021年4月8日，被意大利政府动用“黄金权力”否决了这起收购案。

时任意大利总理的德拉吉称，“半导体的短缺迫使许多汽车制造商在去年减慢了生产速度。这是一个具有战略重要性的产业，意大利当局将动用黄金权力条款干涉交易。”

据了解，黄金权力”仅被用过3次，其中2次都用在中资企业上，其中包括2020年10月意大利电信集团Fastweb与华为的5G合作案。

此次收购，LPE SiC 外延设备与 ASM 产品可以互相补充。收购 LPE 为ASM的差异化沉积技术组合增添了另一项高增长业务，并建立ASM在电力电子领域的重要客户群。

LPE 首席执行官 Franco Preti 表示：“相信 ASM 的收购对 LPE 和 ASM 的客户以及员工都具有吸引力。此次收购还将使 LPE 能够获得世界级的研发资源，并利用 ASM 的全球运营、销售和客户支持网络。”

来源：碳化硅芯观察