日前，德国总公司又迎来和II-VI Advanced Materials，Cree以及Siltronic的再次深度合作，喜提XRD千万欧元大单。作为拥有60多年单晶XRD定向技术的Freiberg Instruments，一直以其专业、专注和不断创新的理念，服务于全球各半导体单晶材料生产厂商。在半导体单晶材料的发展历程中，与全球顶级产商合作、开发。推出一系列适合研发、生产、质控的XRD产品和配套成熟的商业化解决方案。截至目前，全球超过3/4的碳化硅龙头企业已采用弗莱贝格仪器单晶定向仪。

图1 与Freiberg Instruments 合作的多家硅/碳化硅供应商

作为专注于单晶定向，并开发出适合产线需要的各种高精度、自动化产品和方案的供应商，Freiberg Instruments提供各种先进的XRD单晶定向产品，适合不同特点产线的需求，并能根据用户需求开发适应产线需求的配套产品。

Freiberg Instruments提供的XRD单晶定向仪能提供自动的晶格定位和样品校准的在线解决方案，将单晶定向和光学测量（平边Flat及凹槽Norch的测量）完美结合，使用Omega扫描方法，速度快精度高，可在5秒内确定完整的晶体取向，并能达到0.003°的检测精度。

图2 落地式Omega-scan XRD单晶定向仪

除了晶体定向，Omega-scan XRD还可添加二维(X-Y)或三维mapping扫描，以及全自动化的摇摆曲线测量，使其成为单晶制造商质量控制环节中一个重要组成部分。可检测处理的材料包括Si, SiC, GaAs，蓝宝石，LiNbO3，压电单晶，等90多种材料，兼容的样品类型包括晶锭，晶圆片，晶棒，晶柱和其他形式的晶体。

图3 Omega-scan的面扫结果

我公司为目前海外市场极具竞争力的SiC定向设备的供应商，XRD产品能在生产环境下24小时运行，包括了在线和离线设备，以及连接上下游的转移夹持器，可轻松将精确定向的样品转移到下游工艺，如：磨床打磨，线切及分选。我们给海外龙头企业定制化了多套全自动及半自动定向解决方案，以期推动该行业的技术革新。

目前SiC市场大多面临长晶慢，生产效率低下的问题，Freiberg Instruments公司为此设计了晶锭堆垛附件，可使生长缓慢的SiC晶锭堆垛粘接在一起并在线切机上进行切割，同时还能保证高精度，这也是国外龙头企业选择我公司产品的重要原因。

图4 Omega-scan XRD堆垛粘接转移附件

表1 Freiberg Instruments主要XRD型号

型号	特点
	Omega/Theta X射线定向仪 用于超高速晶体定向和摇摆曲线测量 适用于晶圆片，晶锭的测量，可对样品进行堆叠
XRD-OEM	XRD OEM 在线X射线衍射仪 在线测试工具，完全自动化的测量和处理多晶硅，晶球或晶体板。
DDCOM	DDCOM 台式晶体定向仪 采用Omega扫描方法的超高速晶体定位测量，台式X射线晶体定位测量衍射仪(DDCOM)是一种自动工具，用于确定各种晶体的取向。
SDCOM	SDCOM 台式小晶体样品定向仪 采用Omega扫描方法的超高速晶体取向测量，智能X射线晶体定位测量衍射仪(SDCOM)特别为小晶体设计。
Quatrz XRD	Quatrz XRD 石英晶体管衍射仪 利用x射线衍射仪对石英棒、硅片和坯料进行生产质量控制。

XRD自动化方案：

需要快速对硅片进行定向质检和分选，Freiberg Instruments独特的Wafer XRD 200满足了用户大通量、高精度和自动化的要求，可对晶圆片，或芯片进行定向，并按照不同角度偏差进行自动分拣。

l 每天可处理4000个样品

l 样品尺寸为3″-8″晶圆片

l 缺口/平面光学检测

l 3个样品仓(可选5个)

l 支持单晶圆片

l 精度0. 003°

l 支持MES系统SECS/GEM或类似系统

在线定向设备XRD-OEM

很多大型硅片供应商在研磨线切工艺流程中加工设备和定向测量是分开的，样品转移会引起定向误差。Freiberg Instruments由此研发了XRD-OEM模块，可集成到磨床内，解决了定向误差问题，保证了后续工艺的精准性。

现如今，国内的半导体材料市场正经历日新月异的发展阶段，特别是在硅和碳化硅的产业中涌现出一大批有实力的企业，这对推动国内半导体芯片行业起到战略性的重大意义。Freiberg Instruments看到中国市场蓬勃发展的契机，积极布局中国市场，在2020年成立弗莱贝格仪器（上海）有限公司，立志服务国内用户，为中国市场带来最前沿单晶定向技术、设备和完整的解决方案，助力中国半导体材料技术发展！