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青岛华旗科技有限公司

2017-4-14 15:42| 发布者: iawbs| 查看: 4127| 评论: 0

摘要: 青岛华旗科技有限公司(青岛精诚华旗微电子设备有限公司，建于1993年)，为专业的IC集成电路及器件工艺、宽禁带半导体材料（晶体生长等）、半导体特气及废气处理、精密真空热处理炉（磁性材料等、成套）设备及解决方案 ...

青岛华旗科技有限公司(青岛精诚华旗微电子设备有限公司，建于1993年)，为专业的IC集成电路及器件工艺、宽禁带半导体材料（晶体生长等）、半导体特气及废气处理、精密真空热处理炉（磁性材料等、成套）设备及解决方案的高科技研发制造企业。致力于为IC集成电路、功率器件、MEMS器件、LED、太阳能电池、新材料等制造厂家及科研院所提供先进的工艺设备（含成套设备及解决方案）。出色地完成了部分国家863项目（如GaN厚膜生长的HVPE设备、MOCVD系统等）及相关的国家重点项目等。

2006年通过GB/T19001-2008(ISO9001:2008)质量管理体系认证。

主要产品如下：

半导体前工序设备：4~12寸氧化扩散炉LPCVD系列（水平/垂直结构）
宽禁带半导体材料器件工艺设备：SiC等高温退火炉、氧化炉、外延炉等
半导体材料设备：提纯、多晶合成、外延、晶体生长（GaN、AlN、石墨烯等），HVPE、MOCVD、VGF、PVT等
气瓶柜及废气处理（SCRUBBER）：特气柜，尾气（废气）处理系列
加热体：4~12寸氧化扩散炉体
真空工艺设备：RTP、高温高压炉、磁性材料等单室、多室真空热处理炉、渗镝、氢破炉等

网址：www.jcmee.com

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