【联盟动态】中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟团体标准评审会顺利召开

2021年4月29日，中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟（以下简称“宽禁带联盟”）第五批团体标准立项研讨会暨四项团体标准评审会于中国科学院物理研究所M楼249会议室顺利召开，此次会议旨在对《碳化硅外延层载流子浓度测定-非接触电容-电压法》等八项团体标准进行研讨及审定。

评审会现场

本次会议分为上下两场，分别由芜湖启迪半导体有限公司总监钮应喜博士和中国科学院物理研究所王文军研究员主持。宽禁带联盟理事长陈小龙研究员，中国电子科技集团公司第四十六研究所首席专家林健、北京天科合达半导体股份有限公司副总经理刘春俊、北京大学王金延教授、北京邮电大学李培刚教授、中国科学院电工研究所宁圃奇研究员、中国科学院半导体研究所金鹏研究员、清华大学微电子学研究所高级工程师刘志弘、中国科学院电工研究所高级工程师张瑾、化合物半导体杂志主编陆敏博士、中国科学院半导体研究所刘兴昉副研究员、北京聚睿众邦科技有限公司总经理闫方亮博士、北京天科合达半导体股份有限公司副总监佘宗静、国宏中宇科技发展有限公司高级技术主管刘素娟、芜湖启迪半导体有限公司技术总监朱继红、宽禁带联盟代理秘书长刘祎晨和副秘书长郑红军等宽禁带联盟标准化委员会委员及此次团体标准起草单位代表参加了本次会议。

标委会委员讨论与评审

会议首先由郑副秘书长介绍与会专家并致欢迎词，紧接着各牵头起草单位代表分别对团体标准立项及审定稿的主要内容进行了详细介绍及说明。与会专家针对标准立项的意义、可行性等关键内容进行了深度的协商与讨论；另外还对各标准稿中提到的技术指标、标准格式、标准规范等内容提出了很多宝贵的修改意见；最后经联盟标准化委员会与会委员表决，通过《碳化硅外延层载流子浓度测定-非接触电容-电压法》、《碳化硅栅氧的界面态测试方法—电容-电压测试法》（牵头单位：芜湖启迪半导体有限公司），《金刚石单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》、《金刚石单晶位错密度的测试方法》（牵头单位：中国科学院半导体研究所）四项标准立项；通过《碳化硅单晶片X射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》（牵头单位：国宏中宇科技发展有限公司）一项初审稿初审；通过《 碳化硅单晶抛光片位错密度检测方法》、《碳化硅单晶》（牵头单位：北京天科合达半导体股份有限公司）、《氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线的测试方法》（牵头单位：北京邮电大学）三项审定稿审定。

针对本次评审会的建议，起草单位表示将进一步修改和完善标准内容，尽快形成征求意见稿或报批稿，按照标准制定工作计划进度要求，有条不紊地推动标准工作，以制订出高质量的宽禁带半导体团体标准。

评审会合影

目前宽禁带联盟已发布了中关村标准3项，团体标准13项，在研团体标准4项。联盟是中关村标准化协会首批会员单位，2018年2月联盟获批成为国标委第二批团体标准试点单位，是第三代半导体功率器件行业首家国标委团体标准试点单位。宽禁带联盟今后将会继续做好团体标准工作，使团体标准服务于宽禁带半导体产业的技术创新需求。