CN200310113523-物理气相传输生长碳化硅单晶的方法及其装置

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发布时间: 2016-7-13 17:08

正文摘要:

物理气相传输生长碳化硅单晶的 方法及其装置 申请号:200310113523.9 申请日:2003-11-14 申请(专利权)人中国科学院物理研究所 地址100080北京市海淀区中关村南三街8号 发明(设计)人陈小龙吴星 倪代秦 李河清 ...

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