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一种SiC单晶生长压力自动控制装
置
申请号：200310113522.4
申请日：2003-11-14
申请(专利权)人中国科学院物理研究所
地址100080北京市海淀区中关村南三街8号
发明(设计)人陈小龙吴星 李河清 倪代秦 胡伯清
主分类号C30B23/00
分类号C30B23/00 C30B29/36
公开(公告)号1544714
公开(公告)日2004-11-10
专利代理机构北京中创阳光知识产权代理有限责任公司
代理人尹振启
CN200310113522-一种SiC单晶生长压力自动控制装置.pdf
(395.41 KB, 下载次数: 0, 售价: 4 )
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发表于 2016-7-13 17:04:19
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