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     2019年11月28日,中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟(以下简称“宽禁带联盟”)第三批团体标准终审稿评审会于北京海淀区气象路9号中国钢研科技集团南院新材料大楼一层东会议室顺利召开,此次会议由中科钢研节能科技有限公司承办。评审会旨在对《碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法-激光散射法》等六项团体标准终审稿进行评审。


评审会现场


本次会议分为上下两场,分别由中国电子科技集团第四十六研究所首席专家林健研究员和宽禁带联盟秘书长郑红军主持。中科钢研节能科技有限公司副总经理赵然北京天科合达半导体股份有限公司副总经理刘春俊、中科院上海硅酸盐研究所刘学超研究员、北京航空航天大学苏飞教授、中国电子科技集团第四十六研究所质量标准与安全处处长郑风振、中国科学院电工研究所宁圃奇研究员、中国科学院电工研究所张瑾高级工程师、全球能源互联网研究院有限公司研究室主任李金元教授级高工、中科钢研节能科技有限公司新材料事业部副总经理赵子强、中科钢研节能科技有限公司总工程师李龙远、中国电子技术标准化研究院工程师闫美存、米格实验室技术经理史继岩、北京世纪金光半导体有限公司技术副主任何丽娟、北京天科合达半导体股份有限公司质管部经理佘宗静、中国电子科技集团公司第二研究所工程师侯晓蕊、中科钢研节能科技有限公司工程师刘素娟、陈菲菲、邓晓妍、中国电子科技集团公司第四十六研究所工程师高飞、李晖、宽禁带联盟秘书长陆敏博士和副秘书长郑红军等宽禁带联盟标准化委员会委员及此次团体标准起草单位代表参加了本次会议。

首先由陆秘书长介绍与会专家,赵然副总经理致欢迎词,紧接着各牵头起草单位代表分别对团体标准终审稿的主要内容进行了详细介绍及说明,与会专家针对审稿的关键内容进行了深度的协商与讨论,在技术指标、标准格式、标准规范等方面都提出了很多宝贵的修改意见,最后与会专家一致同意以下6项团体标准审稿通过审评定:

(1)《碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法-激光散射法》(牵头单位:北京天科合达半导体股份有限公司)

(2)《碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度的测试方法——共焦点微分干涉光学法

》(牵头单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所)

(3)《半绝缘碳化硅电阻率非接触测量方法》(牵头单位:中国电子科技集团公司第二研究所)

(4)《碳化硅晶片的残余应力检测方法》(牵头单位:北京聚睿众邦科技有限公司)

(5)《导电碳化硅单晶片电阻率测试方法—非接触涡流法》(牵头单位:中科钢研节能科技有限公司)

(6)《功率半导体器件稳态湿热高压偏置试验》(牵头单位:中国科学院电工研究所)


针对本次评审会的建议,各起草单位表示将进一步修改和完善标准内容,尽快形成报批稿,报送宽禁带联盟标委会审核,批准发布实施。

目前宽禁带联盟已发布了团体标准7项,国家标准1项,在研团体标准9项,国家标准3项,国际标准2项。联盟是中关村标准化协会首批会员单位,2018年11月起联盟秘书长陆敏博士担任中关村标准化协会“中关村标准涉及专利处置规则”工作组副组长。2018年2月联盟获批成为国标委第二批团体标准试点单位,是第三代半导体功率器件行业首家国标委团体标准试点单位2017年12月联盟通过北京经济技术开发区召开的2017年度新区产业创新联盟发展评估项目的评审并获资助,2017年1月,联盟被北京经济技术开发区产业技术创新联盟促进会评为“优秀社会组织”。团体标准在国家重大战略部署中,是政府提升综合治理能力和水平的重要工具,是企业获得竞争能力和引领发展的重要条件。宽禁带联盟今后将会继续做好团体标准工作,使团体标准服务于宽禁带半导体产业的技术创新需求,为推进团体标准事业做出应有的贡献。



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