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摘要: 2018年10月,中国科学院微电子研究所将喜迎建所60周年华诞。 中国科学院微电子研究所自诞生之日起,就是我国微电子事业的开创者和开拓者,见证和亲历了我国微电子事业发展的全过程。 1958年,根据党中央和国务院 ...

       2018年10月,中国科学院微电子研究所将喜迎建所60周年华诞。

       中国科学院微电子研究所自诞生之日起,就是我国微电子事业的开创者和开拓者,见证和亲历了我国微电子事业发展的全过程。

      1958年,根据党中央和国务院做出的研制“两弹一星”和高频晶体管计算机的重大战略决策,为研制国防专用109计算机,中国科学院微电子研究所的前身、我国第一个半导体器件生产厂——中国科学院109厂成立。

微电子所诞生地

北京市东城区大取灯胡同3号

       在李德仲(时任中科院应用物理所党委书记)、唐生金(中科院109厂第一任厂长)等同志的精心组织领导下,在王守武、林兰英、王守觉、廖德荣、刘家树等老一辈科学家的努力下,109厂面向国家战略需求,在半导体材料和器件的生产研制方面填补了国内空白。

       1960年,研制生产国内第一批锗晶体管,为我国第一台锗晶体管计算机——109乙机的研制成功做出了重要贡献。

       1961年,中科院半导体所成立,109厂归半导体所建制。

我国第一批硅平面晶体管

       1964年,在国内率先开发生产硅平面晶体管,为我国第一台硅晶体管计算机、被誉为“两弹一星”功勋计算机——109丙机的诞生做出了历史性贡献。

109丙机

       1965年,在国内率先研制生产集成电路,与航天771所(原156工程处)合作研发我国第一台集成电路计算机“156”机。1966年,合作研制我国第一台65型接触式光刻机和超声波铝丝压焊机,在全国推广使用。1970年,合作研制远洋跟踪测量船“远望号”中心控制151计算机。1976年,合作研制我国第一台集成电路百万次计算机——“013”机。1980年,研发出我国第一块16K 存储器。1983年,合作研制我国第一台每秒运算千万次计算机——757机。

       109厂及半导体所为我国微电子事业做出了奠基性、开拓性贡献,刘少奇、贺龙、聂荣臻、粟裕等领导先后视察109厂,主要技术人员受到彭德怀接见。

郭沫若(时任中国科学院院长):

         “ 有了109(厂),

          中国就有了半导体(事业)了!”

时任国务委员张劲夫视察109厂

      1986年,为集中优势力量面向产业发展,开展技术创新,109厂与中科院半导体所和计算所有关微电子学研究部门合并,成立“中国科学院微电子中心”。

北京市朝阳区北土城西路3号

        在吴德馨、马俊如、仇玉林、夏武颖等科学家的带领下,微电子中心深入推进集成电路技术及产品的研发、生产。八九十年代先后成功研制我国第一块自主设计的64K DRAM 存储器;在国内率先开发成功2微米、0.8微米CMOS工艺技术;自主设计研制成功国内首台磁增强反应离子刻蚀设备;合作开发成功“熊猫集成电路CAD系统”;开发成功康发系列CAE工作站;研制成功X射线光刻掩膜和同步辐射光刻束线,成功进行我国第一次同步辐射光刻实验。

时任国务院副总理邹家华视察微电子中心

        2003年9月,微电子中心正式更名为中国科学院微电子研究所。

      经过六十年的发展,微电子所已成为我国微电子与集成电路技术创新的核心力量之一,研究领域包括微电子设计、先导工艺、新器件、新装备、系统应用与物联网技术等。研究所以行业应用、行业服务、核心产品和基础研究为重点进行科研布局,设有2个基础研究类中国科学院重点实验室,4个行业服务类研发中心,6个行业应用类研发中心,3个核心产品类研发中心。

       近年来,在集成电路先导技术、物联网核心技术与应用、高可靠器件与电路、新一代微电子器件与集成技术方面取得了一系列重大创新成果,在22-14纳米关键工艺、系统封装等先导技术创新上取得突破,形成了一大批自主知识产权;突破了智能制造、农资物联网、公共安全、车联网、智能集成传感器等物联网关键核心技术;研发出上百款高可靠器件与电路,支撑了多项国家重大工程;阻变式存储器基础研究和三维集成技术达到国际先进水平。     


       2017年9月,中国科学院院长办公会批准,由微电子所牵头,联合全院八家单位,筹建“中国科学院集成电路创新研究院”,其中光电院激光测量研究室、投影光学研究室整建制加入,研究所进入了改革、开放、发展的新时期。


       六十载栉风沐雨,中国微电子和集成电路的创新发展,任重而道远,几代人的努力仍然在路上。老一辈微电子人用心血汗水书写了研究所的光荣历史,今天的微电子人薪火相传,奋斗不止。值此建所60周年之际,谨向所有在微电子所工作和学习过的同志、同学致以崇高的敬意,向长期关心支持研究所发展的各级领导、专家学者、业界朋友致以衷心感谢!

        砥砺前行六十载,自主创新铸未来。在新的历史起点上,微电子所将继续秉承“惟精惟一,求是求新”的所训,不忘科技报国初心,牢记科技强国使命,坚持面向世界科技前沿、面向国家重大需求、面向国民经济主战场,深入实施“率先行动”计划,不断提升原始创新能力,在集成电路技术领域实现更多基础性、前瞻性和战略性突破,为我国经济社会发展做出更大的科技创新贡献。


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