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摘要: 11月19日,安永株式会社 丸子总经理,旭金刚工业集团 松川董事长,铃木营业技术副部长等一行来到芯茂(嘉兴)半导体科技有限公司访问,共同探讨了国内碳化硅市场的现状及趋势,进一步加深了相互间的战略合作。今年9月 ...

11月19日,安永株式会社 丸子总经理,旭金刚工业集团 松川董事长,铃木营业技术副部长等一行来到芯茂(嘉兴)半导体科技有限公司访问,共同探讨了国内碳化硅市场的现状及趋势,进一步加深了相互间的战略合作。

「首切告捷」碳化硅金刚线多线切割设备调试完成

今年9月,日本安永株式会社、吉永商事株式会社、芯茂(嘉兴)半导体科技有限公司达成战略合作,为进一步应对国内碳化硅市场的急速发展,满足业内客户的扩产需求,安永株式会社将金刚线多线切割设备运至中国用来样机展示及试切加工。此次样机刚运至中国就受到广泛关注,目前已经接到多家客户的试样需求与商务洽谈。

「首切告捷」碳化硅金刚线多线切割设备调试完成

安永金刚线线切工艺

传统碳化硅多线切割采用砂浆切割方式,不仅加工效率较慢,长达120-150个小时,而且存在切片成品率不高、切削液废弃处理繁琐等多个课题。另一方面,金刚线线切割方式虽在光伏行业已得到普及,但在半导体领域还未能被广泛应用,主要瓶颈多体现在加工精度及加工稳定性等方面。

为此,安永公司以成熟的化合物半导体线切技术为基础,融合其在汽车·产业机械制造方面积攒的经验技术,同时注重高线速、高刚性、高精度、低损耗、节能环保等多个方面,经过多年研制开发不断突破瓶颈,推出【HW810】碳化硅专用金刚线多线线切机,以回应市场的急迫需求。

11月22日,我们进行了第一次客户样品试加工,经过前期的晶向定位、粘棒固化等准备,6inch晶棒仅用6h30min即顺利加工完成,线速度达到3000m/min。

「首切告捷」碳化硅金刚线多线切割设备调试完成

「首切告捷」碳化硅金刚线多线切割设备调试完成

「首切告捷」碳化硅金刚线多线切割设备调试完成

「首切告捷」碳化硅金刚线多线切割设备调试完成

并且,加工结果也达到了客户的要求,客户表示本次试样结果大大超出预期。相较现有工艺,本设备不仅在加工速度上快了20多倍,而且在切割精度及耗材成本等方面也取得了质的改善。

「首切告捷」碳化硅金刚线多线切割设备调试完成

「首切告捷」碳化硅金刚线多线切割设备调试完成

(注:如上数值为择优选取的实际数据,仅用于参考 )

此次金刚线多线切割机的首切告捷,意味着样机调试顺利完成。目前已经接到了多家客户提供的样品及预约试样,我们会依次进行安排准备,为广大客户继续提供高质高效的服务!


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